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半導體晶圓快速冷卻裝置冷凍機髙壓故障對策

簡要描述:無錫冠亞生產單流體低溫冷凍機,制冷溫度范圍從-150度到-5度,可滿足不同制冷溫度需求。產品廣泛應用于化工、制藥、生化等行業低溫反應領域,制冷速度快,安全可靠。半導體晶圓快速冷卻裝置冷凍機髙壓故障對策

  • 產品型號:LN-10W
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-01-13
  • 訪  問  量:1345
詳情介紹
品牌LNEYA/無錫冠亞額定制冷量6kWKW
外形尺寸100*150*185m重量950kgkg
冷凍方式水冷式應用領域化工,電子/電池

低溫冷凍機

 

型號LN-6WLN-10WLN-15WLN-20WLN-30WLN-40WLN-60WLN-90WLN-120W
溫度范圍 -60°C~ -10°C
制冷量 
At -40°C
12kW20kW30kW40kW60kW80kW120kW180kW240kW
10320Kcal/h17200Kcal/h25800Kcal/h34400Kcal/h51600Kcal/h68800Kcal/h103200Kcal/h154800Kcal/h206400Kcal/h
制冷量 
At -55°C
6kW10kW15kW20kW30kW40kW60kW90kW120kW
5160Kcal/h8600Kcal/h12900Kcal/h17200Kcal/h25800Kcal/h344000Kcal/h51600Kcal/h77400Kcal/h103200Kcal/h
循環泵6.6m³/h9m³/h15m³/h15m³/h25m³/h25m³/h25m³/h35m³/h35m³/h
2.5bar max2.5bar max2.5bar max2.5bar max2.5bar max2.5bar max2.5bar max2.5bar max2.5bar max
進出液尺寸DN-25
PN-10
DN-32
PN-10
DN-40
PN-10
DN-40
PN-10
DN-50
PN-10
DN-50
PN-10
DN-50
PN-10
DN-65
PN-10
DN-65
PN-10
冷卻水 30度10m³/h
DN40
14m³/h
DN50
20m³/h
DN65
25m³/h
DN65
30m³/h
DN80
35m³/h
DN80
50m³/h
DN100
70m³/h
DN125
90m³/h
DN125
蓄冷罐(選配)200L350L500L750L1000L1200L1500L2200L3000L
膨脹罐(標配)100L175L250L350L500L600L750L1000L1350L
壓縮機艾默生卡萊爾、漢鐘、復盛、比澤爾螺桿壓縮機
操作面板7寸彩色觸摸屏顯示輸入、 溫度曲線記錄
控制系統西門子S7系列PLC及模塊,位式 設定開啟制冷和關閉制冷溫差
全密閉系統整個系統為全密閉系統,低溫不吸收空氣中水份,系統在運行中不會因為高溫使壓力上升,低溫自動補充導熱介質。
循環泵無錫冠亞磁力驅動泵/選配德國品牌磁力驅動泵
蒸發器丹佛斯/高力釬焊式板式換熱器
冷凝器套管式水冷冷凝器/列管式水冷冷凝器
中間換熱器 丹佛斯/高力板式換熱器/沈氏套管換熱器
制冷附件油分離器、干燥過濾器、膨脹閥、制冷電磁閥、壓控、視鏡等均采用艾默生/丹佛斯等品牌
電氣交流接觸器、中間繼電器、斷路器、熱繼電器等選擇施耐德/ABB品牌
制冷劑R404A /R23
載冷劑無腐蝕性液體, 乙醇水溶液、導熱油等
安全保護高壓保護、斷水保護、有過電流保護、漏電保護、相續與斷相保護、高溫保護、傳感器故障、低液位報警等多重安全保護
液位指示采用玻璃液位指示
管路材質膨脹罐、蓄冷罐、循環管路均采用 SUS304
外殼材質槽鋼+方管+冷軋板封板   噴塑7035
外形尺寸cm100*150*185205*145*205205*145*205205*145*175245*145*205300*160*225350*160*205400*160*225500*200*225
電源
380V 50HZ
14kW18kW26kW35kW52kW69kW104kW152kW200kW
噪音75分貝以內80分貝以內90分貝以內
重量kg85010001200145020002400300036004200
選配選配外置觸摸屏控制器,通信線距離10m
選配選配防爆型觸摸屏控制系統(ExdellBT4),通信線距離15m

 

 低溫冷凍機

無錫冠亞專業生產單流體低溫冷凍機,

制冷溫度范圍從-150度到-5度,

可滿足不同制冷溫度需求。

產品廣泛應用于化工、制藥、生化等行業低溫反應領域,

制冷速度快,安全可靠。 

低溫冷凍機低溫冷凍機

半導體晶圓快速冷卻裝置冷凍機髙壓故障對策

半導體晶圓快速冷卻裝置冷凍機髙壓故障對策

  半導體晶圓快速冷卻裝置冷凍機,它是一類冷卻循環水機器設備,半導體晶圓快速冷卻裝置冷凍機是一類能出示控溫、恒流電源、恒流源的冷卻循環水機器設備。

  (1)、制冷溫度較高,冷疑實際效果欠佳。

  制冷機組規定的冷卻循環水額定值工作狀況在30~35℃,溫度高,排熱欠佳,必定造成 冷疑工作壓力高,這類狀況通常產生在高溫時節。導致溫度高的緣故可能是:冷卻塔常見故障,如離心風機未開乃至翻轉,旋轉噴頭不轉,具體表現為冷卻循環水溫度很高,并且迅速上升;外部溫度高,水道短,可循環系統的出水量少,這類狀況冷卻循環水溫度通常保持在較高的水準,能夠采用提升儲蓄水池的方法給予處理。

  (2)、制冷出水量不夠,達不上額定值出水量。

  具體表現是發電機組出入水壓差縮小(與系統軟件資金投入運作之初的壓差對比),溫度差變大。導致出水量不夠的緣故是系統軟件少水或存在汽體,解決方案是在管路高空安裝自動排氣閥開展排氣管;管道混合器阻塞或采用太細,透水性工作能力受到限制,應取用適合的過濾裝置并按時清除濾網;離心水泵采用較小,與系統軟件不配套設施。

  (3)、冷卻器積垢或阻塞。

  凝結水通常用飲用水,在30℃以上時非常容易積垢,并且因為冷卻塔是開啟式的,立即曝露在空氣中,塵土臟東西非常容易進到冷卻系統,導致冷卻器臟堵,傳熱總面積小,效率低,并且也危害出水量。

  (4)、冷媒添加太多。

  這類狀況通常產生在檢修以后,具體表現為吸排氣管工作壓力、均衡工作壓力都較高,制冷壓縮機運作電流量也較高。應在額定值工作狀況下依據吸排氣管工作壓力和均衡工作壓力及其運作電流量放氣,直到一切正常。

  (5)、冷媒內沾有汽體、N2等不凝固汽體。

  這類狀況通常產生在檢修后,真空包裝。只有排出去,再次真空包裝,再次添加冷媒。

  (6)、電氣設備常見故障造成的亂報。

因為髙壓維護電磁閥返潮、接觸不良現象或毀壞,模塊電子板返潮或毀壞,通訊常見故障造成亂報。

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