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簡(jiǎn)要描述：-45～250℃ 半導(dǎo)體芯片集成電路測(cè)試Chiller的典型應(yīng)用：適合元器件測(cè)試用設(shè)備，在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測(cè)試階段包括在溫度（-85℃至+ 250℃）下的電子冷熱測(cè)試和其他環(huán)境測(cè)試模擬。
產(chǎn)品型號(hào)：TES-4555廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-01-07訪 問(wèn) 量：1544| 品牌 | LNEYA/無(wú)錫冠亞 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,能源,電子/電池,汽車(chē)及零部件,電氣 |
適合元器件測(cè)試用設(shè)備
在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測(cè)試階段包括在溫度（-85℃至+ 250℃）下的電子冷熱測(cè)試和其他環(huán)境測(cè)試模擬。
| 型號(hào) | KRY-455 KRY-455W | KRY-475 KRY-475W | KRY-4A10 KRY-4A10W | KRY-4A15 KRY-4A15W | KRY-4A25 KRY-4A25W | KRY-4A38W | KRY-4A60W | |
| 溫度范圍 | -40℃～+100℃ | |||||||
| 控溫精度 | ±0.5℃ | |||||||
| 溫度反饋 | Pt100 | |||||||
| 溫度顯示 | 0.01k | |||||||
| 流量輸出 | 1～10L/min | 1～25L/min | 1～25L/min | 1～40L/min | 1～40L/min | 5～50L/min | 5～50L/min | |
| 關(guān)于流量說(shuō)明 | / | 當(dāng)溫度低于-30度時(shí)，大流量為25L/min | 當(dāng)溫度低于-30度時(shí)，大流量為30L/min | |||||
| 流量控制精度 | ±0.2L/min | ±0.2L/min | ±0.2L/min | ±0.2L/min | ±0.2L/min | ±0.2L/min | ±0.2L/min | |
| 壓力顯示 | 采用江森自控壓力傳感器，觸摸屏上顯示壓力,可進(jìn)行壓力控制調(diào)節(jié) | |||||||
| 加熱功率 | 5.5kW | 7.5kW | 10kW | 10kW 選配15kW | 15kW 選配25kW | 25kW 選配38kW | 38kW 選配60kW | |
| 制冷量 | 100℃ | 5.5kW | 7.5kW | 10kW | 15kW | 25kW | 38kW | 60kW |
| 20℃ | 5.5kW | 7.5kW | 10kW | 15kW | 25kW | 38kW | 60kW | |
| 0℃ | 5.5kW | 7.5kW | 10kW | 15kW | 25kW | 38kW | 60kW | |
| -20℃ | 2.8kW | 4.5kW | 6kW | 10kW | 16kW | 25kW | 35kW | |
| -35℃ | 1.2kW | 1.8kW | 2.5kW | 4kW | 6.5kW | 10kW | 15kW | |
| 壓縮機(jī) | 艾默生谷輪渦旋柔性壓縮機(jī) | |||||||
| 膨脹閥 | 艾默生/丹佛斯熱力膨脹閥 | |||||||
| 油分離器 | 艾默生 | |||||||
| 干燥過(guò)濾器 | 艾默生/丹佛斯 | |||||||
| 蒸發(fā)器 | 丹佛斯/高力板式換熱器 | |||||||
| 輸入、顯示 | 7寸彩色觸摸屏西門(mén)子S7-1200 PLC控制器 | |||||||
| 程序編輯 | 可編制10條程序，每條程序可編制40段步驟 | |||||||
| 通信 | CAN通信總線 | |||||||
| 安全保護(hù) | 具有自我診斷功能；冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù)；高壓壓力開(kāi)關(guān)，過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置、低液位保護(hù)、高溫保護(hù)、傳感器故障保護(hù)等多種安全保障功能 | |||||||
| 是否為全密閉系統(tǒng) | 整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙蜏刈詣?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。 | |||||||
| 制冷劑 | R404A/R507C | |||||||
| 接口尺寸 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | |
| 水冷型at25度 | 1100L/H | 1500L/H | 2000L/H | 2800L/H | 4500L/H | 7000L/H | 12000L/H | |
| 水冷冷凝器 | 帕麗斯/沈氏套管式換熱器 | |||||||
| 風(fēng)冷型冷凝器 | 銅管鋁翅片換熱器（上出風(fēng)形式） | |||||||
| 電源 380V50HZ | 12kW max | 15kW max | 20kW max | 29kW max | 42kW max | 58kW max | 84kW max | |
| 水冷尺寸cm | 55*95*175 | 55*95*175 | 55*95*175 | 70*100*175 | 80*120*185 | 100*150*185 | 145*205*205 | |
| 風(fēng)冷尺寸cm | 55*95*175 | 55*95*175 | 70*100*175 | 80*120*185 | 100*150*185 | |||
| 重量 | 250kg | 280kg | 320kg | 360kg | 620kg | 890kg | 1300kg | |
| 選配 | 220V 60HZ三相 400V 50HZ三相 440V 60HZ三相 | |||||||
| 選配 | 溫度擴(kuò)展到-40℃～+135℃ | |||||||
| 選配 | 更高精度控制溫度、流量、壓力 | |||||||
| 選配 | 自動(dòng)加注防凍液系統(tǒng) | |||||||
| 選配 | 自動(dòng)液體回收系統(tǒng) | |||||||
-45～250℃ 半導(dǎo)體芯片集成電路測(cè)試Chiller
-45～250℃ 半導(dǎo)體芯片集成電路測(cè)試Chiller
1、設(shè)計(jì)驗(yàn)證階段：驗(yàn)證芯片設(shè)計(jì)有效性，對(duì)測(cè)試設(shè)備需求少
芯片設(shè)計(jì)公司通常會(huì)使用半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備對(duì)晶圓或芯片樣品進(jìn)行測(cè)試，以驗(yàn)證芯片樣品功能和性能的有效性，并指導(dǎo)芯片設(shè)計(jì)。設(shè)計(jì)驗(yàn)證階段對(duì)測(cè)試設(shè)備需求較少。
2、晶圓測(cè)試階段：測(cè)試機(jī)+探針臺(tái)，測(cè)試晶圓，節(jié)省封裝成本
晶圓測(cè)試又稱為CP測(cè)試，是指在晶圓制造完成后和進(jìn)行封裝前，通過(guò)探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)配合使用，對(duì)晶圓上的每一個(gè)芯片晶粒進(jìn)行功能和電參數(shù)性能測(cè)試的過(guò)程，是晶圓制造的較后一道工序。晶圓測(cè)試一般在晶圓廠、封測(cè)廠或?qū)ｉT(mén)的測(cè)試代工廠進(jìn)行，主要用到的設(shè)備為測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)，此外還有定制化的測(cè)試電路板和探針卡，探針卡上裝有探針。
晶圓測(cè)試過(guò)程：先將探針卡固定到測(cè)試電路板上，然后把測(cè)試電路板安裝到測(cè)試機(jī)的機(jī)頭上，再將測(cè)試機(jī)頭倒置于探針臺(tái)上。探針臺(tái)上部有孔供探針卡插入。一旦安裝完畢，測(cè)試機(jī)、測(cè)試電路板、探針卡和探針臺(tái)都固定不動(dòng)，探針臺(tái)內(nèi)部的機(jī)械手臂控制晶圓移動(dòng)，并將每一顆芯片晶粒上的接觸孔對(duì)準(zhǔn)探針，然后向上頂使探針準(zhǔn)確插入晶粒的接觸孔，完成測(cè)試。
